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粗糙度測(cè)量?jī)x

  • 名稱:粗糙度測(cè)量?jī)x
  • 型號(hào):YST100R
  • 品牌:雅視特
  • 編號(hào):

>>>技術(shù)描述>>>

1. 測(cè)量范圍

a. X方向驅(qū)動(dòng)器:120mm;

b. Z1:粗糙度量程±1500μm;

c. Z1:分辨率0.01微米;

d. Z軸高度(立柱);400mm;

2. 輪廓技術(shù)參數(shù)

a. 線性精度:±(0.7+|0.12H|)μm;

b. 直線度:0.5μm/100mm;

3. 粗糙度技術(shù)參數(shù)

a. 線性精度:≤±5%;

b. 殘值噪聲:≤0.005μm;

c. 重復(fù)穩(wěn)定性:試值3%;

d. 截止波長(zhǎng):0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm;

e. 評(píng)定長(zhǎng)度:λcX1、2、3、4、5;

4. 傳感器

a. 類型:美國(guó);

b. 分辨率:0.01μm;

c. 產(chǎn)地:美國(guó);

5. 爬坡角度:上升77度 下降88度;

6. 粗糙度評(píng)定參數(shù):Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2;

7. 測(cè)量速度:0.05-20mm/s;

8. Z軸速度:0.05-20mm/s。


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